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中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發(fā)。
法國IBS公司（IBS INFORMATION）成立于1987年，一直致力于離子注入領域的研發(fā)、設計制造與服務，并不斷升級和提高在該領域的技術水平。創(chuàng)始人是來自...
離子注入機由離子源、質量分析器、加速器、四級透鏡、掃描系統(tǒng)和靶室組成，可以根據實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子...
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